고정밀 나노 공정 가능하게 한 획기적 기술
이화여대 남구현·박일흥 교수와 KAIST 고승환 교수팀은 실리콘으로 된 얇은 판 위에 질화규소를 얇은 박막 형태로 증착시킨 뒤 내부의 응력을 이용해 균열을 일으켰다.이번 연구는 비생산적인 현상이라고 생각됐던 균열을 제어해, 지금까지 할 수 없었던 넓은 면적의 고 정밀 나노 공정을 가능하게 했다는 점에서 획기적이라는 평가를 받고 있다.
이번 연구결과는 세계 최고 권위의 과학전문지 네이처 표지논문으로 게재됐습니다.
김지성 khs4096@koreanewstoday.co.kr
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